靶材用鉬鈮合金板的制備方法

本發(fā)明涉及一種靶材用鉬鈮合金板的制備方法。其特點(diǎn)是，包括如下步驟：首先將鉬粉和鈮粉按照5～15：85～95的質(zhì)量比混合得到混合粉，將該混合粉壓成合金坯，然后進(jìn)行燒結，燒結過(guò)程中通入氫氣進(jìn)行保護，當燒結溫度到1000℃保溫2～3小時(shí)，再升溫到1700℃保溫2～3小時(shí)，然后升溫到1950℃保溫8～10小時(shí)，最終燒結成合金坯狀，再經(jīng)過(guò)1200～1400℃高溫煅造后在1500～1600℃下軋制成板材即可。本發(fā)明提供了一種成本低廉，質(zhì)量等各方面能滿(mǎn)足要求的靶材用鉬鈮合金板的新方法，產(chǎn)品主要應用于平板顯示器等領(lǐng)域。