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靶材用鉬鈮合金板的制備方法

1146   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 15:02:03
本發明涉及一種靶材用鉬鈮合金板的制備方法。其特點是,包括如下步驟:首先將鉬粉和鈮粉按照5~15:85~95的質量比混合得到混合粉,將該混合粉壓成合金坯,然后進行燒結,燒結過程中通入氫氣進行保護,當燒結溫度到1000℃保溫2~3小時,再升溫到1700℃保溫2~3小時,然后升溫到1950℃保溫8~10小時,最終燒結成合金坯狀,再經過1200~1400℃高溫煅造后在1500~1600℃下軋制成板材即可。本發明提供了一種成本低廉,質量等各方面能滿足要求的靶材用鉬鈮合金板的新方法,產品主要應用于平板顯示器等領域。
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“靶材用鉬鈮合金板的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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