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高熱導率高品質氮化硅陶瓷基板及其制備方法

951   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:02:02
一種高熱導率高品質氮化硅陶瓷基板及其制備方法，它涉及一種氮化硅陶瓷基板及其制備方法。本發明的目的是要解決現有方法制備的氮化硅基板的熱導率和力學性能差，且使用放電等離子燒結，其設備及制造成本高昂，難以實現批量化生產的問題。一種高熱導率高品質氮化硅陶瓷基板由氮化硅粉或氮化硅粉和氮化鋁、稀土氧化物、鎂粉、增塑劑和有機溶劑制備而成。方法：一、稱料；二、研磨、混合造粒；三、干壓成型；四、氣壓燒結。本發明可獲得一種高熱導率高品質氮化硅陶瓷基板。
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