高熱導率高品質(zhì)氮化硅陶瓷基板及其制備方法

一種高熱導率高品質(zhì)氮化硅陶瓷基板及其制備方法，它涉及一種氮化硅陶瓷基板及其制備方法。本發(fā)明的目的是要解決現有方法制備的氮化硅基板的熱導率和力學(xué)性能差，且使用放電等離子燒結，其設備及制造成本高昂，難以實(shí)現批量化生產(chǎn)的問(wèn)題。一種高熱導率高品質(zhì)氮化硅陶瓷基板由氮化硅粉或氮化硅粉和氮化鋁、稀土氧化物、鎂粉、增塑劑和有機溶劑制備而成。方法：一、稱(chēng)料；二、研磨、混合造粒；三、干壓成型；四、氣壓燒結。本發(fā)明可獲得一種高熱導率高品質(zhì)氮化硅陶瓷基板。