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低壓超大電流整流管制造方法

840   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 15:00:02
本發明涉及一種低壓超大電流整流管制造方法,屬于半導體器件制造技術領域,本發明通過采用NN+外延片作為加工材料進行P型擴散,由于NN+外延片作為加工材料形成PN結平緩,高阻層可精確控制,體電阻小,壓降低,承受浪涌沖擊電流大,從而提高解決薄片加工易碎片的難題,提高產品的等級合格率,同時還可提高產品的可靠性;基區設計時將相關數據填入對應的公式,使所取得的耐壓與壓降找到最佳平衡點,將此過程編成程序通過電腦可以迅速找到最佳點,提高了單位面積電流密度,本發明可使18000A/200~400V的整流管峰值通態壓降在12000A條件下可小于1.08V,反向阻斷電壓在200~400V,本發明電流密度更大、電流容量更強、可靠性更高,性能優越、使用成本更低,填補國際空白。
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