本發明公開了一種有機?無機金屬鹵化物鈣鈦礦的多晶薄膜材料的再結晶的裝置,特別是涉及橫向區域熔化再結晶,其有利于減少晶疇之間的空隙,消除晶疇間的界面和增大晶疇。裝置中包含光輻射二極管(LED)或者激光二極管(LD)的輻射源、聚焦單元和直線導入裝置。本發明適用于光伏薄膜、LED顯示器發光薄膜、圖象探測器薄膜和x光圖象探測器薄膜等需要較大面積的鈣鈦礦準單晶或者較大晶疇的多晶薄膜的需要。
聲明:
“鈣鈦礦多晶薄膜的橫向區域熔化再結晶的裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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