用于真空結晶爐保溫組件的材料的生產(chǎn)方法

本發(fā)明涉及一種用于真空結晶爐中保溫組件的材料的生產(chǎn)方法。主要是為解決現有的由鉬或石墨氈制成的保溫組件對結晶爐內產(chǎn)生污染，影響晶體質(zhì)量等問(wèn)題而發(fā)明的。方法是將生產(chǎn)態(tài)粒度為2.55um，研磨態(tài)粒度為2.3um的W顆粒和生產(chǎn)態(tài)粒度為2.65um，研磨態(tài)粒度為2.4um的Mo顆?；旌?，其中W和Mo的重量相等，混合后再加入占W顆粒和Mo顆?？傊亓?.2％-0.5％的CeO，和占W顆粒和Mo顆?？傊亓?.05％-0.1％的ZrH2，混合均勻后經(jīng)冷等靜壓機壓制成型，最后在溫度為2350℃以上的高溫真空燒結爐內燒結。優(yōu)點(diǎn)是不會(huì )對真空結晶爐內產(chǎn)生污染，不影響晶體質(zhì)量。