石英玻璃棒溫度和功率聯(lián)合控制真空燒結方法

本發(fā)明公開(kāi)了一種石英玻璃棒溫度和功率聯(lián)合控制真空燒結方法，升溫至燒結溫度前，加熱電源采用溫度PID控制模式，達到燒結溫度10min后，程序自動(dòng)切換至功率控制模式，以避免因紅外測溫不準，而造成石英玻璃棒因實(shí)際溫度過(guò)高造成的玻璃棒拉長(cháng)報廢的問(wèn)題，燒結階段Phase結束后，程序再自動(dòng)切換至溫度PID控制模式；根據上一爐燒結運行數據，各段紅外測溫溫度和加熱電源功率輸出，對下一爐燒結配方recipe數據進(jìn)行修正；本發(fā)明采用溫度和功率聯(lián)合控制控制，可實(shí)現真空燒結多段紅外溫度與實(shí)際溫度相差較大時(shí)，仍可燒結出均勻性較好的石英玻璃棒，以提高真空燒結設備使用率和石英玻璃棒成品合格率。