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異質PN結型日盲紫外探測器

679   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-01 00:30:10
本發明公開了一種異質pn結型日盲紫外探測器，其結構自上而下依次由 頂電極，鋅鈹鎂氧薄膜，p-Si襯底和底電極疊置而成。鋅鈹鎂氧薄膜作為光 電響應材料，其分子式為Zn1-x-yBexMgyO，式中x、y為摩爾分數，且0＜x＜1， 0＜y＜1，0＜x+y＜1?？稍诒３謫我涣嚼w鋅礦結構的前提下，通過調節薄膜中 Be和Mg的含量控制探測器工作波段至日盲區(220～280nm)。鋅鈹鎂氧薄 膜與p-Si形成異質pn結結構，入射光產生的電子-空穴對可在內建電場作用 下分開，導致載流子漂移出耗盡層形成外部電路電流。本發明的優點在于不 受太陽光背景干擾，成本低，無需外加工作電壓，結構簡單且易于與Si集成， 在環境保護、紫外通訊、生物醫學研究以及天文學等領域具有重 要應用前景。
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“異質PN結型日盲紫外探測器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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