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p-BN/i-Ga2O3/n-Ga2O3的日盲型紫外探測器

1060   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-02-28 01:00:10
本實用新型公開了一種p?BN/i?Ga2O3/n?Ga2O3的日盲型紫外探測器，包括：襯底、n型Ga2O3層、i型Ga2O3層、p型BN層、n型歐姆電極和p型歐姆電極；n型Ga2O3層位于襯底上；i型Ga2O3層和n型歐姆電極均位于n型Ga2O3層上，i型Ga2O3層和n型歐姆電極之間間隔設置；p型BN層位于i型Ga2O3層上；p型歐姆電極位于p型BN層上；其中，p型BN層采用纖鋅礦型氮化硼材料，且p型BN層厚度為50?100nm。本實用新型通過采用纖鋅礦型氮化硼作為p型層，使得p型摻雜激活能只有31meV，可以使得p型BN層較易實現1×1018cm?3以上的空穴濃度，使得P型氮化硼材料的電阻率可以降到12Ω.cm以下，由于p型BN層能夠有效地提供空穴并與金屬電極形成良好的歐姆接觸，使得探測器的響應時間縮短、量子效率以及光譜響應度提升。
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