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陣列互聯的CsPbCl3紫外光電探測器及其制備方法

1197   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-02-28 01:00:10
本發明屬于微納制造與光電子器件領域，并具體公開了一種陣列互聯的CsPbCl3紫外光電探測器及其制備方法，包括步驟：S1在襯底上制備十字交叉型電極陣列；S2采用光刻套刻工藝進行CsCl前驅體掩膜版圖形轉移，采用薄膜沉積工藝在襯底上沉積得到CsCl前驅體圖案，該CsCl前驅體圖案位于十字交叉型電極陣列中并與其連接；S3采用薄膜沉積工藝在CsCl前驅體圖案上沉積前驅體PbCl2層，退火使CsPbCl3鈣鈦礦擴散結晶，得到圖案化CsPbCl3鈣鈦礦薄膜。本發明克服了傳統溶液法與光刻工藝不兼容的問題，可降低像元尺寸、提高像元密度，并降低電極面積占比，提升成像器件陣列密度，實現探測器小型化、集成化。
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