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鎵酸鑭薄膜及其制造方法及相應的鎵酸鑭薄膜光電探測器

986   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-02-28 01:00:09
本發明提供了一種鎵酸鑭薄膜光電探測器，以及相應的鈣鈦礦結構鎵酸鑭薄膜及其制造方法。所述的探測器包括依次疊置的襯底、鎵酸鑭薄膜和電極，其中鎵酸鑭薄膜為(00l)取向的鈣鈦礦結構LaGaO3外延薄膜，襯底為LaAlO3襯底。本發明的工藝可控性強、容易操作。本發明制得的鎵酸鑭薄膜表面致密、厚度穩定均一，適于大面積制備、且重復性好。本發明制得的光電探測器暗電流極小、紫外可見抑制比高、響應度高、且制造工藝簡單。
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