本發明涉及一種自驅動光電探測器及其制備方法。該光電探測器的特征由絕緣襯底、導電層、高介電常數層、鈣鈦礦量子點層、叉指電極組成。其制備方法,包括以下步驟:鈣鈦礦量子點的制備;沉積襯底表面電極;沉積高介電常數層;沉積量子點;采用濺射法制備叉指電極。采用電沉積的方式將量子點轉移至襯底上,形成了具有多孔堆積狀的鈣鈦礦量子點結構層,可實現對光的多次吸收。得到的自驅動光電探測器具有響應速度快、靈敏度高、柔性可彎曲的特點。
聲明:
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