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可用于高速光電探測的Bi(Fe,Zn)O3/NiO全氧化物薄膜異質結

760   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-02-28 01:00:06
本發明提供一種基于鋅摻雜鐵酸鉍/氧化鎳材料的全氧化物薄膜異質結，屬于半導體器件技術領域。本發明公開了一種精確制備鋅摻雜鐵酸鉍/氧化鎳薄膜異質結的方法，所述的異質結采用溶膠凝膠技術，可精確控制各層元素化學計量比、同時保證各層薄膜良好的結晶性及均勻致密的形貌，可控性強、工藝簡單、制備效率高。本發明實現了鋅摻雜鐵酸鉍與氧化鎳的良好匹配、耦合形成異質結結構，利用鐵酸鉍極化電場和異質結內建電場相結合促進光生載流子輸運，獲得可見光范圍內高速光電響應特性，可用于制作相關半導體光電探測器件，對氧化物鈣鈦礦薄膜在半導體器件領域的實用化具有重要意義。
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“可用于高速光電探測的Bi(Fe,Zn)O3/NiO全氧化物薄膜異質結” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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