本發明公開了一種高純度高強高導銅基靶材及其制備方法,原料按照重量份數比為:高純銀粉0.1~1.0份、高純銅銀鍶合金粉1~10份、余量為銅粉99~99.9份,銀粉+銅粉總共100份;其中:銅銀鍶合金粉合金中銀的含量為0.1~1.0%,鍶的含量為5~20ppm,余量為銅。本發明采用粉末冶金的方法對銅粉和銀粉進行冷等靜壓制坯,可確保銅和銀的比例保持一致,又可以避免熔煉過程中發生銀的偏析。本發明提出的制備方法,在制備高純坯錠之前先進行多道次區域熔煉獲得合金母坯,可保證后續靶材成品的高純度。
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