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高致密度鉬鈮合金靶材及其制備工藝

830   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:33:05
本發明公開了一種高致密度鉬鈮合金靶材及其制備工藝，首先按重量百分比計量稱取以下組分：鈮粉5%~15%，氫化鋯0.1%~0.8%，余量為鉬粉，研磨、混勻后采用冷等靜壓壓制成型，再進行真空燒結，或者在氫氣氣氛中預燒結后再進行真空燒結，最后機加工，即得。本發明利用氫化鋯的活化作用，采用普通的粉末冶金工藝直接制備高致密度的鉬鈮合金濺射靶材，工藝簡單，成本低；同時避免了氣孔造成的微粒飛濺，保證了鍍膜質量；克服了熔煉鑄造工藝組織粗大、成分不均，熱壓、熱等靜壓工藝的滲碳、成本高，鍛造或軋制加工流程長、成品率低的缺點。
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