權利要求
1.一種碲化鎘晶體退火裝置,包括退火爐(1)和設置在退火爐(1)中的上料組件,其特征在于,所述退火爐(1)的兩端開(kāi)口處的內壁安裝有外密封圈(2),所述退火爐(1)的上方兩內壁分別安裝有真空管(11)和氬氣管(12),所述退火爐(1)的內部安裝有電熱絲(17),所述退火爐(1)的兩端內側壁卡設有定位槽(18),所述定位槽(18)的內壁安裝有內密封圈(21),所述退火爐(1)的底部安裝有固定座(13),所述固定座(13)的兩端分別安裝有螺桿(15)和導向桿(16),所述固定座(13)一端靠近螺桿(15)的側壁安裝有電機(14);
所述上料組件包括安裝座(3)、第一固定桿(32)、外密封板(321)、第二固定桿(33)和內密封板(331),所述安裝座(3)的兩側壁分別和第一固定桿(32)及第二固定桿(33)固定連接,所述內密封板(331)和另一個(gè)上料組件的第二固定桿(33)的一端固定連接,兩個(gè)所述上料組件公用同個(gè)內密封板(331),所述安裝座(3)的上方開(kāi)設有三個(gè)凹槽(31),所述外密封板(321)的側壁安裝有對稱(chēng)的滑塊(322),其中一個(gè)所述滑塊(322)的內壁和螺桿(15)的外壁螺紋連接,另一個(gè)所述滑塊(322)的內壁和導向桿(16)的外壁滑動(dòng)連接。
2.根據權利要求1所述的一種碲化鎘晶體退火裝置,其特征在于,所述真空管(11)和氬氣管(12)的管道一端分別安裝有閥門(mén),所述真空管(11)外接真空泵。
3.根據權利要求2所述的一種碲化鎘晶體退火裝置,其特征在于,所述螺桿(15)的兩端分別和兩個(gè)上料組件中外密封板(321)外側滑塊(322)的內壁轉動(dòng)連接,所述螺桿(15)的一端和電機(14)的輸出端固定連接。
4.根據權利要求3所述的一種碲化鎘晶體退火裝置,其特征在于,兩個(gè)所述外密封板(321)的一側外壁分別和退火爐(1)兩端外側壁中的外密封圈(2)密封連接,所述內密封板(331)的外壁和內密封圈(21)的外壁密封連接。
5.根據權利要求1所述的一種碲化鎘晶體退火裝置,其特征在于,兩個(gè)所述外密封板(321)的一側外壁開(kāi)設有兩組對稱(chēng)的密封槽(38),所述密封槽(38)的一側開(kāi)設有穿透的通槽(381),所述固定座(13)的兩側內壁安裝有兩組和通槽(381)內壁滑動(dòng)連接的滑桿(131
聲明:
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我是此專(zhuān)利(論文)的發(fā)明人(作者)