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用于光學元器件檢測的高精度測厚儀

1217   編輯:中冶有色網   來源:許昌學院  
2024-05-29 15:18:47
權利要求書: 1.一種用于光學元器件檢測的高精度測厚儀,其包括:機臺(1)、居中固定組件(2)以及位移測定組件(3),其中,所述居中固定組件(2)固定安裝在機臺(1)上端面的右側,用于對待檢測光學元器件進行居中夾持固定,所述位移測定組件(3)設置在居中固定組件(2)的正上方,以便對待測量光學元器件進行厚度檢測,所述機臺(1)上還設置有輔助照明燈(5),其特征在于:所述位移測定組件(3)滑動設置在氣動滑軌(4)上,以實現位移測定組件(3)的上下精確位移;所述位移測定組件(3)與居中固定組件(2)的豎直方向上的中心軸線相互共線,以便實現對待檢測光學元器件的中心厚度進行精確的測量。2.根據權利要求1所述的一種用于光學元器件檢測的高精度測厚儀,其特征在于:所述位移測定組件(3)包括頂板(31)、調節桿(32)、限位板(33)以及承接座(34),所述頂板(31)的下端面上對稱安裝有兩個調節桿(32),兩個所述調節桿(32)的伸縮端固定在承接座(34)的上端面;所述承接座(34)的橫截面為T形結構,且,所述承接座(34)豎直部分外部滑動套設有限位板(33),所述限位板(33)的最大直徑大于支撐殼體(21)頂端開口的直徑;所述調節桿(32)的伸縮軸外部套設有彈簧一(321);所述承接座的下端設置有頂部壓感觸頭(35),且,所述頂部壓感觸頭(35)為弧面錐形結構。3.根據權利要求2所述的一種用于光學元器件檢測的高精度測厚儀,其特征在于:所述頂板(31)的下端面內均勻圓周嵌入有多個激光接收器(331)。4.根據權利要求2所述的一種用于光學元器件檢測的高精度測厚儀,其特征在于:所述承接座(34)的上端面內圓周均勻嵌入有若干激光發射器(341),且,若干所述激光發射器(341)的位置與數量均與頂板(31)內的多個激光接收器(331)相匹配,以便測得承接座(34)各方位的位移變化量。5.根據權利要求1所述的一種用于光學元器件檢測的高精度測厚儀,其特征在于:所述居中固定組件(2)包括支撐殼體(21)、夾緊組件(22)以及調節裝置(23),所支撐殼體(21)的內壁上圓周滑動設置有多個調節裝置(23),且,每個所述調節裝置(23)遠離支撐殼體(21)內壁的一端固定安裝有夾緊組件(22);每個所述調節裝置(23)的下端均通過電動伸縮桿一(25)
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