權利要求書： 1.一種全自動晶圓分選機，其特征在于：包括箱體（1），箱體（1）內設置有放置臺（11），放置臺（11）上設置有用于分選晶粒的分選機構（3），放置臺（11）上設置有夾持機構（2），夾持機構（2）上設置有夾具一（241）和夾具二（242），夾具一（241）和夾具二（242）用于在箱體（1）內移動并將晶圓移動至分選機構（3）中，放置臺（11）上可拆卸連接有未分類片料匣（4）和已分類空/滿盤料匣（5），夾持機構（2）用于將未分類片料匣（4）中的晶圓移動至分選機構（3）中，夾持機構（2）用于將分選后的晶圓移動至已分類空/滿盤料匣（5）中，所述夾持機構（2）包括X軸動力機構（21）、Y軸動力機構（22）、Z軸動力機構一（231）和Z軸動力機構二（232），X軸動力機構（21）懸空設置在放置臺（11）上方，Y軸動力機構（22）連接在X軸動力機構（21）上，X軸動力機構（21）用于帶動Y軸動力機構（22）滑動，Y軸動力機構（22）的滑動方向與放置臺（11）平行，Y軸動力機構（22）上設置有基架（230），Y軸動力機構（22）用于帶動基架（230）滑動，基架（230）的滑動方向與放置臺（11）平行，基架（230）的滑動方向與X軸動力機構（21）滑動方向垂直，Z軸動力機構一（231）和Z軸動力機構二（232）設置在基架（230）上，Z軸動力機構一（231）與夾具一（241）連接，夾具一（241）通過Z軸動力機構一（231）沿靠近和遠離放置臺（11）的方向滑動，Z軸動力機構二（232）與夾具二（242）連接，夾具二（242）通過Z軸動力機構二（232）沿靠近和遠離放置臺（11）的方向滑動，所述基架（230）上設置有保護套環（25），保護套環（25）與基架（230）之間存在空隙，夾具一（241）和夾具二（242）設置在保護套環（25）內，所述基架（230）上設置有多個導向轉輪（26），每個導向轉輪（26）包括連接板（261）和多個輪體（262），輪體（262）轉動連接在連接板（261）上，連接板（261）設置在基架（230）上，輪體（262）用于抵接在晶圓側壁上。2.根據權利要求1所述的一種全自動晶圓分選機，其特征在于：所述X軸動力機構（21）設置為直線電機，直線電機包括定子（211）和動子（212），定子（211）設置在
聲明：
“全自動晶圓分選機” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：管理員
來源：深圳市優界科技有限公司
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2025年07月09日 ~ 11日 
