權利要求書: 1.一種罩式退火爐排氣裝置,包括罩式退火爐(1),其特征在于:所述罩式退火爐(1)的頂端通過螺栓安裝設置有安裝板(2),所述安裝板(2)的頂端開設有貫穿口,所述貫穿口的內部固定連接有導氣管(3),所述導氣管(3)的底端延伸至罩式退火爐(1)的內部,所述導氣管(3)的內部固定連接有限制片(4),所述限制片(4)的頂端開設有氣口(5),所述限制片(4)的頂端開設有多個螺紋安裝孔(15),且多個螺紋安裝孔(15)以氣口(5)的圓心為原點進行圓周排列,多個所述螺紋安裝孔(15)的內部均設置有限位桿(6),多個所述限位桿(6)的頂端設置有安裝盤(7),所述安裝盤(7)的底端中心處固定連接有伸縮桿(8),所述伸縮桿(8)的底端固定連接有陶瓷分隔片(9),所述導氣管(3)的外壁靠近頂部邊緣處套設有過濾箱(11),所述過濾箱(11)的前后兩側外表面均開設有過濾口,兩個所述過濾口的內部均安裝設置有過濾網(12)。
2.根據權利要求1所述的一種罩式退火爐排氣裝置,其特征在于:所述安裝盤(7)的內部安裝設置有彈簧(10),所述彈簧(10)的頂端固定連接于安裝盤(7)的底面。
3.根據權利要求1所述的一種罩式退火爐排氣裝置,其特征在于:所述陶瓷分隔片(9)的半徑大于氣口(5)的半徑,且陶瓷分隔片(9)設置于氣口(5)的上方。
4.根據權利要求1所述的一種罩式退火爐排氣裝置,其特征在于:所述安裝盤(7)頂端開設有多個貫穿孔,多個所述貫穿孔均開設于對應的限位桿(6)上方。
5.根據權利要求4所述的一種罩式退火爐排氣裝置,其特征在于:多個所述貫穿孔均貫穿限位桿(6)的底面,多個所述貫穿孔的內部均插設有長螺栓,多個所述長螺栓均與對應的螺紋安裝孔(15)螺紋連接。
6.根據權利要求1所述的一種罩式退火爐排氣裝置,其特征在于:所述導氣管(3)的外壁套設有冷卻箱(13),所述冷卻箱(13)的一側外表面貫穿設置有出氣管(14)。
說明書: 一種罩式退火爐排氣裝置技術領域[0001] 本實用新型涉及計算機信號接收設備技術領域,更具體地說,涉及一種罩式退火爐排氣裝置。
背景技術[0002] 退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能,熱處理是針對不同的效果而設
聲明:
“罩式退火爐排氣裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)