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利用電場效應增強加工區域酸堿度的鍺平面鏡化學拋光方法

898   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:29:40
本發明公開了一種利用電場效應增強加工區域酸堿度的鍺平面鏡化學拋光方法，制造高介電常數真空吸盤和高介電常數拋光盤，在拋光盤和基盤的非工作端面涂上高溫銀漿，接上電極，絕緣處理；將鍺平面鏡真空吸附在多孔陶瓷基盤上，采用化學拋光液進行拋光加工。本方法的拋光原理為使用高介電常數陶瓷拋光盤，在拋光盤和真空吸附陶瓷基盤接上電極后，在拋光區域產生強電場，氫離子或氫氧根離子向工件表面移動，增強了工件表面酸堿度，提高了拋光液對工件表面的腐蝕性，在液動壓流體的剪切作用下，對工件表面進行化學非接觸拋光。本方法通過電場實現對工件表面的PH值可控，化學非接觸拋光提高了工件表面質量，避免表面磨損。
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“利用電場效應增強加工區域酸堿度的鍺平面鏡化學拋光方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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