本發明涉及一種用于拋光高硬度材料的納米氮化硅拋光組合物,它的組份和重量百分比含量為,1%~8%的表面改性的納米氮化硅、0.1%~1.0%鈦酸酯偶聯劑、0.1%~2%的季戊四醇硬脂酸酯、0.1%~1%的甘油單十六烷酸酯、余量為基礎油。本發明還涉及這種納米氮化硅拋光組合物的制備方法。采用本發明的納米氮化硅拋光組合物使被拋光的材料表面達到超鏡面的光潔度,而且在拋光過程中沒有雜質或污染物污染被拋光的材料表面。本發明的制備工藝簡單。
聲明:
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我是此專利(論文)的發明人(作者)