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集成電路襯底用絕緣陶瓷及其制備方法

1125   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:29:07
本發明公開了一種集成電路襯底用絕緣陶瓷，由以下按照重量份的原料組成：硅鋅礦60?80份、鈦酸鋇30?40份、燒滑石20?30份、鈦白粉10?30份、二氧化硅10?20份、氮化硅5?15份、石英粉3?8份、云母粉5?10份、碳化硼2?8份、聚丙烯酸鈉5?10份、酚醛樹脂8?15份、氧化鋁3?8份、復合添加劑2?6份、粘結劑1?5份和去離子水100?120份。本發明的集成電路襯底用絕緣陶瓷具有絕緣電阻值低、絕緣性能好、使用壽命長、生產成本低等優點，同時，本發明的制備方法通過嚴格控制工藝參數，可以控制絕緣陶瓷材料在燒結過程中的結構變化和化學變化，可以滿足工業應用的要求。
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