LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器

本發(fā)明為一種LTCC光纖法珀高溫壓力傳感器，主要由基座、壓力敏感膜片、光纖、插芯及尾柄組成。本發(fā)明采用LTCC技術(shù)一體化制造直接接觸高溫的壓力敏感膜片和基座，用高溫膠水將光纖固定在尾柄及插芯內，采用陶瓷燒結技術(shù)或高溫膠水將插芯與基座連接，使光纖端面與壓力敏感膜片平行放置構成法珀腔，通過(guò)光纖傳感技術(shù)測量壓力導致的膜片撓度變化，從而進(jìn)行壓力測量。本發(fā)明解決了高溫下熱應力不匹配導致的傳感器失效問(wèn)題。另外，采用光纖傳輸可以隔絕高溫，消除高溫對信號處理電路的影響。在超高溫環(huán)境下，所制作的壓力傳感器可以實(shí)現寬頻帶的原位壓力測量。