光-機械式微梁陣列熱型紅外圖象傳感器

一種用于獲取并轉換紅外信號的光-機械式微梁陣列熱型紅外圖象傳感器,包括按陣列分布的微梁?jiǎn)卧?微梁?jiǎn)卧邪瑹嶙冃螜C構和紅外吸收板,熱變形機構為兩組且對稱(chēng)連接于紅外吸收板的兩側,本發(fā)明的關(guān)鍵在于:整個(gè)微梁?jiǎn)卧獮閭认蛑蔚臒o(wú)底單層平面結構;熱變形機構由熱隔離梁和變形梁構成折轉式分布;紅外吸收板與變形梁連接,支撐梁與熱隔高梁連接;每組熱變形機構由至少一根熱隔離梁和至少一根變形梁組成;所述的微梁?jiǎn)卧捎庙樞蚱戒伒姆绞綐嫵申嚵?。本發(fā)明不僅工藝實(shí)現簡(jiǎn)單,而且器件不發(fā)生粘連、不容易失效和破壞,對器件的真空度要求也大幅降低。無(wú)硅襯底部分反射紅外線(xiàn),更多的能量直接到達探測單元,使探測更靈敏。