柔性基底薄膜梯度變形的力學(xué)性能原位測試輔助裝置

本發(fā)明涉及材料測試技術(shù)，尤其涉及種柔性基底薄膜梯度變形的力學(xué)性能原位測試輔助裝置，包括有夾持機構、梯度載荷加載機構以及精密檢測單元。本發(fā)明通過(guò)曲柄滑塊機構，將滑塊直線(xiàn)移動(dòng)轉化為薄膜試件加載梯度載荷，分布梯度的應力應變，原子力顯微鏡直接觀(guān)測不同應力應變下薄膜的微觀(guān)結構變化，從而得到樣品的宏觀(guān)力學(xué)性能。本發(fā)明可復現薄膜材料受梯度載荷的工況，可原位觀(guān)測梯度受力下，薄膜不同形變與基底結合力，膜基結合能，在同一測試環(huán)境下，比對不同形變，找出膜基結合臨界狀態(tài)，及失效時(shí)薄膜形貌變化，測量整個(gè)過(guò)程中的形變學(xué)、變形機制和力學(xué)性能，是研究新型薄膜材料在此工況下的彈性模量、內應力和結合能有力試驗工具。