利用EDAX能譜儀測量輕元素SEC因子數據表的方法

本發(fā)明公開(kāi)了一種利用EDAX能譜儀測量輕元素SEC因子數據表的方法，本發(fā)明的步驟如下：（1）將某標樣的已知某輕元素含量作為標準值，對某標樣劃分不同的測量區域，選定在EDAX能譜儀的不同加速電壓，在每種加速電壓下重復下述操作：在每一測量區域中，改變所述EDAX能譜儀的定量分析程序中的SEC因子，找出使測得的所述某輕元素含量與標準值相同的SEC因子，將找出的SEC因子取算數平均值，得到所述某輕元素在不同加速電壓下的SEC因子數據表；（2）對所述某標樣中的其它輕元素重復步驟（1），得到某標樣中不同輕元素所對應的SEC因子數據表。本發(fā)明的有益效果是提高能譜儀對輕元素定量分析的準確性，為材質(zhì)鑒別、材料研究、失效分析等工作提供有力的技術(shù)支持。