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存儲器晶圓測試方法和測試裝置

860   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 09:00:12
本申請涉及半導體制作過程中存儲器晶圓測試技術領域,具體涉及存儲器晶圓測試方法和測試裝置。方法包括:向目標存儲器晶圓發送具有指針變量的測試指令;依次接收存儲在存儲單元中的數據,并存儲;判斷數據是否有誤,若有誤,確定被測芯片包含失效單元;將包含有失效單元的被測芯片歸類為失效組,其他被測芯片歸類為正常組;根據失效組中的被測芯片,在測試電路模塊中開設具有位圖空間,位圖空間與失效組中的被測芯片一一對應;依次遍歷失效組中被測芯片各存儲單元,若存儲單元為失效單元,在對應位圖空間的對應位元上標注;依次遍歷位圖空間的各個位元,確定被標注的位元;根據被標注的位元,確定失效單元地址。
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