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存儲器晶圓測試方法和測試裝置

860   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:12
本申請涉及半導體制作過程中存儲器晶圓測試技術領域，具體涉及存儲器晶圓測試方法和測試裝置。方法包括：向目標存儲器晶圓發送具有指針變量的測試指令；依次接收存儲在存儲單元中的數據，并存儲；判斷數據是否有誤，若有誤，確定被測芯片包含失效單元；將包含有失效單元的被測芯片歸類為失效組，其他被測芯片歸類為正常組；根據失效組中的被測芯片，在測試電路模塊中開設具有位圖空間，位圖空間與失效組中的被測芯片一一對應；依次遍歷失效組中被測芯片各存儲單元，若存儲單元為失效單元，在對應位圖空間的對應位元上標注；依次遍歷位圖空間的各個位元，確定被標注的位元；根據被標注的位元，確定失效單元地址。
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聲明：
“存儲器晶圓測試方法和測試裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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