柔性基底薄膜集中載荷的力學(xué)性能原位測試輔助裝置

本發(fā)明涉及材料測試技術(shù)，尤其涉及一種柔性基底薄膜集中載荷的力學(xué)性能原位測試輔助裝置，包括有夾持機構、頂膜機構、加載機構以及精密檢測單元。本發(fā)明給薄膜試件加載集中載荷，引起基底變形呈球面狀，曲率變化等復雜變形，為分析薄膜材料的膜基結合性能、失效殘余應力、殘余應變等參數打下基礎。本發(fā)明可復現薄膜材料受硬質(zhì)點(diǎn)沖擊的工況，原位測量整個(gè)過(guò)程中的形變學(xué)、變形機制和力學(xué)性能，是研究新型薄膜材料在此工況下的彈性模量、內應力和膜基結合能的有力試驗工具。