功率器件失效點(diǎn)定位方法

本發(fā)明公開(kāi)了一種功率器件失效點(diǎn)定位方法，包含：步驟一，利用藥液去除樣品正面的金屬鋁層；步驟二，對除需要測試的芯片以外的區域進(jìn)行全面的保護；步驟三，使用鍍金機鍍金，使樣品表面形成一層較均勻的金屬層；步驟四，在鍍金區域選一平整的位置，使用FIB機臺形成一個(gè)鉑觸點(diǎn)；步驟五，對失效芯片背面加壓，正面墊的觸點(diǎn)接地，進(jìn)行測試以及失效點(diǎn)的定位。