本實用新型公開了一種用于芯片失效性分析的分離裝置,包括支撐基板、刀片、用于帶動刀片升降的升降調節器和芯片支撐架,所述芯片支撐架與支撐基板固定,芯片支撐架上設有至少一個用于放置芯片的芯片槽,刀片固定在升降調節器上,刀片的刃口朝向芯片槽,所述升降調節器與支撐基板滑動連接,以使升降調節器遠離或靠近芯片槽。本實用新型提供了一種用于芯片失效性分析的分離裝置,可以對芯片本體和基板進行快速分離,且操作簡單方便,操作過程安全可靠。
聲明:
“用于芯片失效性分析的分離裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)