現場(chǎng)用便攜式超景深3D顯微系統

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種現場(chǎng)用便攜式超景深3D顯微系統及其成像方法，涉及光電無(wú)損3D檢測設備技術(shù)領(lǐng)域；其包括顯微鏡頭、升降模組、XY平移臺和殼體，顯微鏡頭上配設有照明光源，顯微鏡頭和升降模組均位于殼體內側，顯微鏡頭通過(guò)連接塊與升降模組連接，升降模組內設有用于驅動(dòng)顯微鏡頭沿豎直方向移動(dòng)的步進(jìn)電機，XY平移臺上設置有支撐塊，升降模組固定在支撐塊上，以使顯微鏡頭隨著(zhù)支撐塊沿觀(guān)察平面X方向及Y方向移動(dòng)；通過(guò)實(shí)施本技術(shù)方案，可有效解決現有顯微鏡僅限于現場(chǎng)平面觀(guān)察樣品細微表觀(guān)質(zhì)量，難以全面觀(guān)察微觀(guān)目標而作出定量分析的技術(shù)問(wèn)題，可實(shí)現無(wú)損觀(guān)察樣品的同時(shí)現場(chǎng)觀(guān)察大型起伏物體細微缺陷表現情況，確定樣品缺陷等級，實(shí)用性好。