本發(fā)明提供的是一種用于微機電系統監測的光纖探針。其特征是:它由單模光纖1,大芯徑漸變折射率光纖2,二元菲涅爾透鏡3,待測物4,位移臺5,光源6,三端口環(huán)形器7,光功率計8,計算機9組成。本發(fā)明可用于微機電系統的便攜、非接觸式無(wú)損監測,可廣泛用于光纖傳感等領(lǐng)域。
聲明:
“用于微機電系統監測的光纖探針” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習研究,如用于商業(yè)用途,請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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