修整頭

本發(fā)明公開(kāi)了一種修整頭，包括修整組件和用于承載修整組件的基座組件，所述修整組件可相對于基座組件旋轉并豎直移動(dòng)以修整拋光墊；并且，所述修整頭中設置有傳感器以監測修整組件相對于基座組件的豎直位置。本申請提供的修整頭用于化學(xué)機械拋光設備中拋光墊的修整活化，其結構合理，內部設置傳感器實(shí)時(shí)監測修整組件相對于基座組件的豎直位置，實(shí)時(shí)獲取修整組件底面距離拋光墊的距離，以保證良好的修整效果。