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用于處理基板的裝置和方法

1168   編輯：管理員   來(lái)源：中冶有色網(wǎng)  
2023-03-19 07:33:28
本發(fā)明涉及用于處理基板的裝置和方法。用于處理基板的方法包括：通過(guò)在旋轉基板的情況下將化學(xué)溶液分配到基板上來(lái)處理基板，其中，與基板或化學(xué)溶液直接接觸的接地導電構件包括在支承和旋轉基板的支承單元中，在接地導電構件與地之間的接地路徑上設置有電流檢測器，并且基于由電流檢測器檢測的電流值控制基板的處理條件。
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聲明：
“用于處理基板的裝置和方法” 該技術(shù)專(zhuān)利(論文)所有權利歸屬于技術(shù)(論文)所有人。僅供學(xué)習研究，如用于商業(yè)用途，請聯(lián)系該技術(shù)所有人。
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