基于微納加工工藝的多參數水質(zhì)監測傳感器

本實(shí)用新型屬于水質(zhì)監測傳感器技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種基于微納加工工藝的多參數水質(zhì)監測傳感器，包括傳感器本體和芯片，所述傳感器本體內設置有芯片，所述芯片包括PH電極、溶解氧電極、電導率電極和溫度電極，所述PH電極包括通用正極和PH電極負極，所述溶解氧電極包括通用正極和溶解氧負極。通過(guò)采用微納加工工藝制備，布局于硅基片上的各測試電極結構緊湊，體積小巧，集成程度高，制備簡(jiǎn)單，便于安裝，并且各監測參數使用的電極材料均具有較強的熱穩定性和化學(xué)穩定性，對傳感器的后期測試穩定性有較強保障作用。