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多晶金剛石膜的制備方法和輻射探測器

917   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:27:49
本發明公開了一種多晶金剛石膜的制備方法和輻射探測器，其中的方法包括如下步驟：將其上具有金剛石晶種的襯底置于化學氣相沉積反應室中；設置化學氣相沉積反應室中的生長氣體為H2、CH4和N2的混合氣體；經過第一預設時間后，關閉CH4和N2，并通入O2，將H2和O2的混合氣體作為刻蝕氣體；經過第二預設時間后，關閉O2，并復通入CH4和N2，將H2、CH4和N2的混合氣體作為生長氣體；重復上述步驟若干次，直至若干個第一預設時間之和達到預設生長時間后結束，得到多晶金剛石膜。通過本發明中的方法，能夠減少最終制備得到的多晶金剛石薄膜內的雜質，提高最終制備得到的多晶金剛石膜的質量，且該方法的實施難度較低。
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