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用于有機膜的CMP研漿組成物、其制備方法以及使用其的研磨有機膜的方法

859   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:52
本發明是有關于一種有機膜的CMP研漿，包括氧化劑及溶劑。本發明的有機膜的CMP研漿具有通過方程式(1)所呈現的為約5°至90°的Δθw，其為水接觸角變化，且在將涂布有有機膜而待研磨的晶圓，浸漬于CMP研漿中10小時之后所測量。
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