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化學機械研磨液自動配制控制系統

862   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:58:11
本發明公開了一種化學機械研磨液自動配制控制系統，包括控制單元、執行單元、測量單元、罐體單元和管線單元；其中，管線單元包括，研磨液管線和雙氧水管線，研磨液管線和雙氧水管線上均安裝有測量單元和執行單元；罐體單元包括配制罐和設置在配制罐內的攪拌裝置，配制罐用于存放由研磨液原液和雙氧水原液配制得到的研磨液；測量單元為折光儀，控制單元用于實時接收所述折光儀檢測的數據，并結合預設的研磨液濃度閾值生成執行命令傳輸給執行單元。其效果是：能夠實時檢測各管線和罐體中的液體濃度值，并根據測量的實時數據對配制罐中的研磨液濃度進行自動控制，不需要增加額外的維護量和維護費用，并且提高了檢測的準確度。
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“化學機械研磨液自動配制控制系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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