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可提高檢測精準度的拋光終點檢測方法

1078   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:56:05
本發明提供了一種可提高檢測精準度的拋光終點檢測方法,用于檢測氧化物的化學機械拋光工藝的拋光終點?，F有技術在進行氧化物的拋光終點檢測時并未對所檢測到波峰的扭矩進行檢測而判定其為拋光終點,易在拋光速度過慢時出現拋光終點的誤檢測現象。本發明不僅在進行一預設時段的拋光后再進行拋光終點檢測,還判斷所檢測到波峰對應的扭矩是否在正常終止扭矩范圍,且在是時才判定所檢測到波峰為拋光終點。采用本發明可避免在拋光速度過慢時出現的拋光終點誤檢測事件發生,如此可大大提高拋光終點檢測的精準度和可靠性,進而大大提高氧化物化學機械拋光工藝的拋光質量。
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