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用于監測水漬狀缺陷的檢測晶圓及檢測方法

755   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:56:02
一種用于監測水漬狀缺陷的檢測晶圓及檢測方法，其中檢測晶圓，包括晶圓；位于晶圓上的介質層；位于介質層中的若干鎢金屬插塞，鎢金屬插塞的表面與介質層的表面齊平。將本發明的檢測晶圓對某一化學機械研磨機臺設備進行監測時，當檢測過程中如果有去離子水濺射到檢測晶圓表面時，去離子水仍為液態，該濺射到檢測晶圓表面的去離子水溶解鎢金屬插塞表面的鎢鹽，經過熱板干燥、風干或自然干燥后，該去離子水經濃縮后在介質層區域形成含有鎢鹽的水漬狀缺陷，通過缺陷檢測設備可以檢測到該水漬狀缺陷，因而可以很快的判斷該化學機械研磨機臺是否存在問題，防止將在線產品在存在問題的化學機械研磨機臺上進行相應的工藝，防止產生漏電現象或開路現象。
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