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降低化學機械拋光工藝熱點檢測漏報率的方法

1151   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:38:40
一種降低化學機械拋光工藝熱點檢測漏報率的方法，包括：第一步驟：執行版圖載入；第二步驟：選定格點大小，根據設置的起始點移動步長，并計算兩個垂直移動方向上的單方向移動次數；第三步驟：將版圖切割起始點(X, Y)按照{(X?m*s), (Y?n*s)}進行移動，其中s為起始點移動步長，m和n為整數且初值均為所述單方向移動次數；第四步驟：執行格點幾何信息提??；第五步驟：執行化學機械拋光工藝模擬預測；第六步驟：執行熱點檢測；第七步驟：使得n遞增1，在遞增1之后的n小于單方向移動次數時，重復第三步驟到第六步驟，或使得m遞增1，在遞增1之后的m小于單方向移動次數時，使得n遞增1，當遞增1后的n也小于單方向移動次數時，重復第三步驟到第六步驟。
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