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轉盤式芯片分選機X、Y模組機構

513   編輯:中冶有色網   來源:深圳市朝陽光科技有限公司  
2024-04-01 11:15:12
權利要求書: 1.一種轉盤式芯片分選機X、Y模組機構,其特征在于,包括X軸模組機構和Y軸模組機構,所述X軸模組機構包括第一電機、設置在所述第一電機輸出端的X軸絲桿以及與所述X軸絲桿螺紋配合的晶圓墊板,所述第一電機固定設置在固晶臺支座一側, 所述Y軸模組機構包括第二電機、設置在所述第二電機輸出端的Y軸絲桿以及與所述Y軸絲桿螺紋配合的Y軸螺母座,所述Y軸螺母座與所述固晶臺支座固定連接。 2.根據權利要求1所述的一種轉盤式芯片分選機X、Y模組機構,其特征在于,所述X軸絲桿遠離所述第一電機的一端轉動設置有第一支撐座,所述Y軸絲桿遠離所述第二電機的一端轉動設置有第二支撐座。 3.根據權利要求1所述的一種轉盤式芯片分選機X、Y模組機構,其特征在于,所述第二電機固定設置在Y軸絲桿馬達座一側,所述Y軸絲桿馬達座一側設置有導軌,所述固晶臺支座與所述導軌之間通過滑塊滑動配合。 4.根據權利要求1所述的一種轉盤式芯片分選機X、Y模組機構,其特征在于,所述第一電機一側固定設置有馬達座,所述馬達座一側設置有導軌座,所述第一電機所述X軸絲桿之間通過聯軸器以及緩沖塊相連,所述Y軸絲桿馬達座一側設置有拖鏈, 所述導軌座一側還設置有Wafer模塊。 5.根據權利要求1所述的一種轉盤式芯片分選機X、Y模組機構,其特征在于,所述Y軸絲桿長度為530cm,所述X軸絲桿長度為330cm。 6.根據權利要求1所述的一種轉盤式芯片分選機X、Y模組機構,其特征在于,所述第一電機以及所述第二電機均為伺服電機。 說明書: 一種轉盤式芯片分選機X、Y模組機構技術領域[0001] 本實用新型屬于芯片分選機技術領域,具體是一種轉盤式芯片分選機X、Y模組機構。背景技術[0002] 在分選工作過程中,為了能更好的取、放芯片,配合芯片分選機CCD機構檢測芯片,需要承載芯片的X、Y模組機構作不同方向的移動,從而快速完成分選。[0003] 現有的X、Y模組機構在移動時精度較差,無法保證取放晶圓芯片、三點對位、吸嘴清潔、擺臂取放芯片等動作的精確性,亟需改進。實用新型內容 [0004] 針對上述現有技術的不足,本實用新型實施例要解決的技術問題是提供一種轉盤式芯片分選機X、Y模組機構。[0005] 為解決上述技術問題,本實用新型提供了如
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