密封裝置和掃描電鏡系統

權利要求書(shū)： 1.一種密封裝置，適于連接掃描電鏡和換樣倉，其特征在于，所述密封裝置包括：閥殼，設有容納腔和與所述容納腔連通的第一開(kāi)孔和第二開(kāi)孔，所述第一開(kāi)孔適于和所述換樣倉連通，所述第二開(kāi)孔適于和所述掃描電鏡的內腔連通；以及閥芯，可活動(dòng)設于所述容納腔，包括壓板和密封板；所述壓板適于被驅動(dòng)以沿第一方向和第二方向移動(dòng)，所述第一方向和所述第二方向相反，且所述第一方向和所述第二方向與所述第二開(kāi)孔的軸向相交；所述密封板與所述壓板活動(dòng)連接；在所述壓板沿所述第一方向移動(dòng)時(shí)，所述密封板跟隨所述壓板移動(dòng)且朝向所述第二開(kāi)孔移動(dòng)，以和所述容納腔的腔壁壓接而密封所述第二開(kāi)孔；在所述壓板沿所述第二方向移動(dòng)時(shí)，所述密封板跟隨所述壓板移動(dòng)且背向所述第二開(kāi)孔移動(dòng)，以和所述容納腔的腔壁分離而開(kāi)啟所述第二開(kāi)孔；所述密封板設有貫穿其相對兩側的插孔，所述密封板的其中一側面向所述第二開(kāi)孔，所述密封板的另一側面向所述容納腔；所述密封裝置包括密封罩，所述密封罩覆蓋所述插孔且其邊緣和所述密封板的所述另一側密封連接；所述密封罩具備柔性。2.如權利要求1所述的密封裝置，其特征在于，所述容納腔設有止擋部，在所述壓板沿所述第一方向移動(dòng)時(shí)，所述密封板適于被所述止擋部阻擋而朝向所述第二開(kāi)孔移動(dòng)。3.如權利要求1所述的密封裝置，其特征在于，所述閥芯包括有第一部件，在所述壓板沿所述第二方向移動(dòng)時(shí)，所述第一部件適于作用于所述密封板以使所述密封板背向所述第二開(kāi)孔移動(dòng)。4.如權利要求3所述的密封裝置，其特征在于，所述第一部件為設于所述密封板的第一滾輪，所述閥殼設有朝向所述容納腔敞開(kāi)的避讓槽；在所述密封板與所述容納腔的腔壁壓接而密封所述第二開(kāi)孔時(shí)，所述第一滾輪移入所述避讓槽；在所述壓板沿所述第二方向移動(dòng)時(shí)，所述第一滾輪適于移出所述避讓槽而與所述容納腔的腔壁滾動(dòng)連接，帶動(dòng)所述密封板背向所述第二開(kāi)孔移動(dòng)，以使所述密封板和所述容納腔的腔壁分離。5.如權利要求3所述的密封裝置，其特征在于，所述第一部件為彈性件，所述彈性件連接于所述壓板和所述密封板；在所述密封板與所述容納腔的腔壁壓接而密封所述第二開(kāi)孔時(shí)，所述彈性件彈性形變；在所述壓板沿所述第二方向移動(dòng)時(shí)，所述彈性件復位以帶動(dòng)所述密封板背向所述第二開(kāi)孔移動(dòng)，以使所述密封板和所述容納腔的腔壁分離。6.如權利要求1所述的密封裝置，其特征在于，在所述