KLA的Filmetrics系列利用光譜反射技術實現薄膜厚度的精確測量,其測量范圍從nm-mm,可實現如光刻膠、氧化物、硅或者其他半導體膜、有機薄膜、導電透明薄膜等膜厚精確測量,被廣泛應用于半導體、微電子、生物醫學等領域。Filmetrics具有F10-HC、F20、F32、F40、F50、F60-t等多款產品,可測量從幾mm到450mm大小的樣品,薄膜厚度測量范圍1nm到mm級。FilmetricsF10-RT以真空鍍膜為設計目標,只要單擊鼠標即可獲得反射和透射光譜。
上海阜力測量設備有限公司宇舟手自動一體金屬制樣機是專為金屬試樣制備設計的多功能設備,集成手動操作與自動控制雙模式,支持切割、磨削、拋光等全流程制樣,適用于冶金、機械制造、科研院校等領域,為金相顯微觀察、硬度測試等檢測提供高效、精準的試樣制備解決方案。
Duranmin-40涵蓋了Struers微觀/宏觀硬度測試儀的基本載荷范圍。此測試儀配有手動和電動XY載物臺和一個全景相機。Duramin-40有三個載荷范圍,10gf–10kgf、10gf–31.25kgf和1gf–62.5kgf。測試儀包含帶有立顯示器的集成計算機,可以使用觸摸屏或鼠標進行操作。還可以選擇使用雙顯示器。測試循環是完全自動的,標配電動6位轉臺。附加模塊包括Kc斷裂測量,映射和焊接測量。
美國Molecular Vista推出的全新一代散射式掃描近場光學顯微鏡(Vista-SNOM)基于光誘導力顯微鏡(PiFM)技術,通過檢測探針與樣品之間的偶極相互作用直接獲得樣品表面的場強分布,無需遠場光學探測器,避免了遠場信號干擾。該技術無縫適應紫外到射頻范圍,簡化了傳統SNOM的復雜配置。Vista-SNOM不僅在PiFM模式下提供與模擬結果高度吻合的場強測量,還具備s-SNOM模式,使科研人員能夠對比分析兩種模式下的場強結果,是研究納米光子學、表面等離激元、二維材料及范德華異質結構等領域的有力工具。
KLA的Filmetrics系列利用光譜反射技術實現薄膜厚度的精確測量,其測量范圍從nm-mm,可實現如光刻膠、氧化物、硅或者其他半導體膜、有機薄膜、導電透明薄膜等膜厚準確測量,被廣泛應用于半導體、微電子、生物醫學等領域。Filmetrics具有F10-HC、F20、F32、F40、F50、F60-t等多款產品,可測量從幾mm到450mm大小的樣品,薄膜厚度測量范圍1nm到mm級。FilmetricsF50系列的產品能以每秒測繪兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度,配備R-θ較為坐標標準和訂制化樣品盤,樣品直徑可達450毫米。
宇舟無極調速金相試樣單盤磨拋機YMP-1是上海阜力測量設備有限公司代理的金相試樣制備設備,采用單盤設計配合無極調速技術,通過手動或自動控制實現試樣磨削與拋光的靈活操作,適用于金屬、陶瓷等材料的金相試樣制備,為材料檢測、質量控制及科研分析提供高效、均勻的試樣處理解決方案。
Zeta-20臺式光學輪廓儀是非接觸式3D表面形貌測量系統。該系統采用ZDot?技術和Multi-Mode(多模式)光學系統,可以對各種不同的樣品進行測量:透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的紋理,以及納米至毫米級別的臺階高度。
KLA的Filmetrics系列利用光譜反射技術實現薄膜厚度的精確測量,其測量范圍從nm-mm,可實現如光刻膠、氧化物、硅或者其他半導體膜、有機薄膜、導電透明薄膜等膜厚精確測量,被廣泛應用于半導體、微電子、生物醫學等領域。Filmetrics具有F10-HC、F20、F32、F40、F50、F60-t等多款產品,可測量從幾mm到450mm大小的樣品,薄膜厚度測量范圍1nm到mm級。F40用于測量光斑<1μm的薄膜膜厚。
威而信高精度自動調心圓度儀CA35CNC是上海阜力測量設備有限公司代理的高端圓度測量設備,集成自動調心技術與CNC控制系統,可精準測量圓柱、圓錐等回轉體零件的圓度誤差,適用于軸承、汽車零部件、精密機械等行業,為質量控制與工藝優化提供高效、自動化的測量解決方案。
KLA先進的探針式臺階儀Alpha-StepD-600,可測量納米級至1200um臺階高度,并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應力。且其具有5.0A(1σ)或0.1%臺階高度重復性以及亞埃級的分辨率。
KLA公司全系列的力學測試產品均采用電磁驅動原理的加載力激發器,iNano臺式納米壓痕儀。對納米壓痕物理模型和優線性特性的電磁力驅動原理的深刻理解,以及良好的靈敏度的三片式電容傳感器的設計,保證全系列納米力學產品在整個量程范圍內均能得到高精準、高分辨的控制。50mN載荷范圍,3nN加載精度,0.002nm位移精度。
Park XE-15大樣品臺工業原子力顯微鏡是專為共享實驗室、多變量實驗和晶片失效分析設計的高性能設備。它具備100μm×100μm的XY柔韌導向掃描范圍和12μm(可選25μm)的撓性導向強力Z掃描,配備滑動連接的超亮二級管頭和多樣品夾頭。此外,選配的編碼器XY自動樣品載臺和垂直對齊的電動Z載臺及聚焦載臺,進一步提升了操作的便捷性和成像效率。6寸樣品臺的設計使其能夠容納較大尺寸的樣品,實現多樣品一次性自動成像,提高數據精確性和穩定性,滿足多樣化的研究需求。
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