氮氧化物檢測系統及其制備方法與流程

1.本發(fā)明涉及微納傳感應用技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種氮氧化物檢測系統及其制備方法。 背景技術(shù)： 2.氮氧化物是一種常見(jiàn)的大氣污染物，其來(lái)源主要有雷電等自然過(guò)程和人類(lèi)活動(dòng)。大氣中的氮氣和氧氣在雷電環(huán)境下被激化到活化態(tài)，生成氮氧化物；人類(lèi)活動(dòng)中的石油、化工行業(yè)及機動(dòng)車(chē)輛尾氣排放、硝酸生產(chǎn)、硝化過(guò)程、炸藥生產(chǎn)及金屬表面的硝酸處理等過(guò)程也會(huì )產(chǎn)生氮氧化物，大部分的氮氧化物來(lái)自燃煤排放?？刂频趸锱欧偶氨O測其污染情況，能夠改善環(huán)境質(zhì)量、減緩酸雨和灰霾天氣的影響；同時(shí)能夠控制和改善空氣質(zhì)量，為人類(lèi)生活和生產(chǎn)創(chuàng )造更加清潔的環(huán)境。 3.傳統對氮氧化物進(jìn)行監測的方法有saltzman法、化學(xué)發(fā)光法和色譜法等，上述方法雖然靈敏度高、檢出限低，但設備復雜、價(jià)格昂貴，且不能實(shí)現氮氧化物的連續監測。表面波傳感器、光纖傳感器、半導體傳感器和電化學(xué)傳感器等化學(xué)傳感器能滿(mǎn)足簡(jiǎn)便、快速、現場(chǎng)檢測等氮氧化物監測需求。 4.比如相關(guān)技術(shù)中，申請公布號為cn102012386a的中國發(fā)明專(zhuān)利申請公開(kāi)了一種基于準定向三氧化鎢納米帶的氮氧化物氣體傳感器元件的制備方法，實(shí)現步驟為：（1）配制六氯化鎢溶液；（2）調節六氯化鎢的摩爾濃度為0.003～0.012m；（3）合成準定向的鎢氧化物納米線(xiàn)；（4）制備準定向的鎢氧化物納米線(xiàn)；（5）制備敏感材料漿料；（6）制備準定向三氧化鎢納米帶基傳感器元件。 5.但目前半導體型氮氧化物傳感器性能較為單一，在組裝成系統后只能進(jìn)行當前狀態(tài)的氮氧化物監測，不能對以往氮氧化物污染情況進(jìn)行反饋；此外，一般系統需要額外的顯示元器件對當前氮氧化物污染情況進(jìn)行數字化顯示。 技術(shù)實(shí)現要素： 6.本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題在于如何在氮氧化物檢測系統中實(shí)現對氮氧化物污染情況進(jìn)行數字化顯示。 7.本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)手段實(shí)現解決上述技術(shù)問(wèn)題的：本發(fā)明提出了一種氮氧化物檢測系統，所述系統包括：半導體傳感器、透明的基片和匹配電阻，所述基片兩端布置有鉑電極，所述半導體傳感器和所述基片并聯(lián)后一端與所述匹配電阻一端連接，所述半導體傳感器和所述基片并聯(lián)后的另一端接入信號電源正極，所述匹配電阻的另一端接入信號電源的負極；所述半導體傳感器的基底晶圓上涂刷有氮氧化物氣敏材料，所述基片上涂刷有電致變色材料。 8.本發(fā)明中半導體傳感器的基底晶圓上涂刷有氮氧化物氣敏材料，基片上涂刷有電致變色材料，分別作為用于檢測