本公開涉及光學檢測技術領域，具體涉及光學檢測系統及光學檢測方法。
背景技術：
近年來由于微納米半導體技術、微機電制程與封裝技術等持續不斷地發展，帶動了高科技的進步，其中光學元件的應用不但更加多樣化，而且為配合光電產品的發展趨勢，逐漸朝向輕薄短小與多功能化發展。相應地如何在微小系統中嵌入微小光學元件已成為關鍵性技術，尤其非球面透鏡可以簡化光學系統的構成、提高成像品質與降低成本。因此，在講求高品質與低成本的市場要求下，非球面透鏡在光電產品的應用中越來越廣泛。而在透鏡的制造過程中，需要對透鏡進行質量檢測以確保透鏡的質量符合要求。
技術實現要素：
本公開提出了光學檢測系統及光學檢測方法。
第一方面，本公開提供了一種光學檢測系統，該光學檢測系統包括：第一光源、分光鏡、第二光源、待測光學器件、第一相機、第二相機以及分別電連接所述第一相機和所述第二相機的計算設備，其中：
所述第一相機設置于所述待測光學器件的第一側；
所述第一光源、所述分光鏡、所述第二光源和所述第二相機分別設置于待測光學器件的第二側；
所述分光鏡設置于所述第一光源和所述待測光學器件之間，所述第一光源發射的光線穿透所述分光鏡和所述待測光學器件后由所述第一相機接收并形成透射圖像后發送至所述計算設備；
所述第二光源設置于所述分光鏡和所述待測光學器件之間，所述第二光源朝向所述待測光學器件發射的光線由所述待測光學器件反射后經由所述分光鏡而被所述第二相機接收并形成反射圖像后發送至所述計算設備；
所述計算設備用于基于所述透射圖像與預設參考透射圖像的差異生成透射檢測結果，以及基于所述反射圖像與預設參考反射圖像的差異生成表面檢測結果。
在一些可選的實施方式中，所述第一光源為激光光源。
在一些可選的實施方式中，所述第二光源為白光光源。
在一些可選的實施方式中，所述第二光源為中空白光光源。
在一些可選的實施方式中，所述光學檢測系統還包括至少一個準直鏡，所述至少一個準直鏡設置于所述待測光學器件和所述第一相機之間，用于匯聚由所述待測光學器件透射的光線。
在一些可選的實施方式中，所述第一相機和所述第二相機為電荷耦合器件ccd相機。
在一些可選的實施方式中，所述光學檢測系統還包括設置有至少兩個所述待測光學器件的轉輪，所述轉輪與所述計算設備通信連接。
在一些可選的實施方式中，所述光線檢測系統還包括：轉盤，所述待測
聲明：
“光學檢測系統及光學檢測方法與流程” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
1890
編輯：中冶有色網
來源：日月光半導體制造股份有限公司
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2025年07月24日 ~ 26日 
