合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 分析檢測技術

> 失效分析技術

> 單片硅基微壓傳感器

單片硅基微壓傳感器

1179   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:37:12
本實用新型公開了一種單片硅基微壓傳感器，包括硅片主體，硅片主體包括相互鍵合于一起的硅基片和彈性硅膜，硅基片和彈性硅膜之間設置有第一二氧化硅層，硅基片之中設置有腐蝕坑，腐蝕坑之中設置有背島結構，背島結構包括用于穩定測量的背島和包裹背島設置的腐蝕自終止結構。由于背島被腐蝕自終止結構所包裹，因此只需調節腐蝕自終止結構所包裹的范圍大小，即可靈活準確設置背島的大小，從而能夠使背島不會受到硅基片的厚度限制，從而能夠提高產出率、降低成本，還能夠克服大背島的自重效應，從而提高穩定性，避免出現背島與玻璃鍵合而導致器件失效的問題，從而能夠形成厚度一致性好、靈敏度一致性好的彈性硅膜，從而適宜于大規模生產。
登錄解鎖全文
聲明：
“單片硅基微壓傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
失效分析
上一個：滅火器箱
下一個：具有雙向機械限位保護裝置的全自動太陽跟蹤器

與 “單片硅基微壓傳感器” 相關技術

? 高溫鋅合金熔煉用真空感應爐
? 高延伸率高強度高鋅Al-Zn-Cu鑄造合金及其制備方法
? 銅合金帶材的清洗方法
? 銅電鍍金屬化異質結鈣鈦礦疊層太陽能電池
? 銅合金絲線剪切裝置及其使用方法
? 防止偏移的金屬材料壓縮試驗裝置
? 用于柱狀拉伸試樣的測試夾具及其使用方法
? 用于鈦合金薄板的矯平方法
? 金屬板材加工用鉆孔裝置
? 金屬材料韌性檢測儀

相關失效分析設備推薦

手動液壓機臺
管式土壤水分測量儀
不分光紅外線法COCO2二合一檢測儀
手持式復合式氣體測定儀TD600-SH-M6多氣體檢測儀|訂制氣分析儀
盛瀚CIC-D100型國產離子色譜儀
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?高溫鋅合金熔煉用真空感應爐
?高延伸率高強度高鋅Al-Zn-Cu鑄造合金及其制備方法
?銅合金帶材的清洗方法
?銅電鍍金屬化異質結鈣鈦礦疊層太陽能電池
?銅合金絲線剪切裝置及其使用方法
?防止偏移的金屬材料壓縮試驗裝置
?用于柱狀拉伸試樣的測試夾具及其使用方法
?用于鈦合金薄板的矯平方法
?金屬板材加工用鉆孔裝置
?金屬材料韌性檢測儀

報名參會
更多+

2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
2025年08月05日 ~ 07日
2025鉛鋅產業市場研討會
2025鉛鋅產業市場研討會
2025年08月07日 ~ 09日
第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
第二屆(2025)有色金屬綠色冶金雁棲論壇(EMYQ)
2025年08月08日 ~ 10日
2025中國（榆林）鈉/鋰電池材料產業科技大會
2025中國（榆林）鈉/鋰電池材料產業科技大會
2025年08月10日 ~ 12日
第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
第二屆煤基固廢資源綜合利用技術交流會
2025年08月14日 ~ 16日

報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
下載:139
2 取、制樣安全淺析
下載:131
3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
下載:108
4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
下載:99
5 樣品變質引起采制樣和結算問題
下載:96
6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
下載:95
7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
下載:93
8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
下載:92
9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
下載:90
10 非常規礦產品取制樣方法的探討
下載:89
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1防爆閥保護膜
2壓力平衡機構
3水電站的尾水預埋件
4化工礦產有色金屬的檢測機構
5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
10便攜式礦山測量激光儀
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX