合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置:中冶有色 >

有色技術頻道 >

> 失效分析技術

> 單片硅基微壓傳感器

單片硅基微壓傳感器

1179   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 09:37:12
本實用新型公開了一種單片硅基微壓傳感器,包括硅片主體,硅片主體包括相互鍵合于一起的硅基片和彈性硅膜,硅基片和彈性硅膜之間設置有第一二氧化硅層,硅基片之中設置有腐蝕坑,腐蝕坑之中設置有背島結構,背島結構包括用于穩定測量的背島和包裹背島設置的腐蝕自終止結構。由于背島被腐蝕自終止結構所包裹,因此只需調節腐蝕自終止結構所包裹的范圍大小,即可靈活準確設置背島的大小,從而能夠使背島不會受到硅基片的厚度限制,從而能夠提高產出率、降低成本,還能夠克服大背島的自重效應,從而提高穩定性,避免出現背島與玻璃鍵合而導致器件失效的問題,從而能夠形成厚度一致性好、靈敏度一致性好的彈性硅膜,從而適宜于大規模生產。
登錄解鎖全文
聲明:
“單片硅基微壓傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽:
失效分析
全國熱門有色金屬技術推薦
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

報名參會
更多+

報告下載

赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股(集團)有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話:
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX