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堆疊導電柱互聯結構及其制備方法

1268   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:20:07
本發明提供一種堆疊導電柱互聯結構及其制備方法，堆疊導電柱互聯結構包括：依次垂直層疊的第一介質層至第N介質層；N為大于或等于2的整數；任意的第n介質層中具有第n通槽；垂直堆疊且依次鄰接的第一導電柱至第N導電柱；任意的第n導電柱位于第n通槽中，任意的第n導電柱包括：位于第n通槽的內壁表面的第n應力阻擋層以及位于第n應力阻擋層上的第n導電本體；n為大于或等于1且小于或等于N的整數；任意的第k導電本體和第k+1應力阻擋層接觸，k為大于或等于1且小于或等于N?1的整數。所述堆疊導電柱互聯結構避免可靠性測試失效且提高了使用壽命。
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“堆疊導電柱互聯結構及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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