本實用新型涉及蒸鍍技術領域,特別涉及一種蒸鍍坩堝,在坩堝本體內腔設置壓力傳感器和控制裝置,無線監測裝置分別與壓力傳感器和控制裝置電連接,這樣能夠根據壓力傳感器檢測到的坩堝本體內的有機氣體的壓力值來調節控制裝置的有機氣體進入的氣體量,一方面能夠避免由于坩堝本體出料量隨蒸鍍時間的增加而減少引起的鍍率波動,從而避免鍍率波動引起的所設定的參數表失效等一系列問題,減小生產停止的風險;另一方面,坩堝本體出料量的穩定,有利于目標膜層的均勻性,提高產品的良率。
聲明:
“蒸鍍坩堝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)