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光刻方法

706   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:01:09
本發明提供的一種光刻方法，包括：提供測試晶圓；使用設計掩模版對所述測試晶圓進行光刻工藝，在測試晶圓表面形成光刻膠圖形；檢測所述光刻膠圖形，查找發生圖形坍塌的區域；根據所述光刻膠圖形的坍塌區域，制作修正掩模版，所述修正掩模版具有開口，所述開口與所述圖形坍塌區域相對應；提供產品晶圓；分別使用所述修正掩模版以及設計掩模版對產品晶圓進行曝光，在產品晶圓表面形成光刻膠圖形。本發明通過對已發生圖形坍塌的光刻膠區域進行二次曝光，使得該區域光刻膠的圖形失效，從而避免了光刻膠缺陷的擴散。
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聲明：
“光刻方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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