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在樣品坡面上進行納米探針測試的方法

1058   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:00:14
本發明提供了一種在樣品坡面上進行納米探針測試的方法，包括以下步驟：將樣品固定在FIB的樣品臺上，并將所述樣品臺移動至電子束與離子束的共聚焦點高度處；旋轉所述樣品臺以使所述樣品臺與所述離子束成一預設角度；利用所述離子束轟擊所述樣品的表面，對所述樣品的目標區域進行切割并形成一坡面；利用納米探針在所述坡面上進行電性測試。利用聚焦離子束在樣品上加工出坡面，通過在直接在所述坡面處下針實現了對樣品內下層結構的納米探針測試，并得到了準確的電性數據，對特殊樣品的失效分析工作有著重大意義。
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